CMK 通过液封直拉法 (LEC) 或垂直梯度凝固 (VGF) 生长方法制造半绝缘和半导体砷化镓 晶片和锭。所需的电参数通过高纯度的 6N 原料(镓和砷)实现。为达到选定的浓度,使用了锌、 硅和碲等掺杂剂。
生产过程涉及在 PBN 和高纯石英坩埚中生长单晶和多晶砷化镓。我们提供直径从 2 英寸到 4 英寸的单晶晶片和整锭,质量适合外延加工和高频与光电应用。
高质量的材料由经过训练完全合格的员工生产,以满足客户的特殊需求。
单晶砷化镓的规格 |
砷化镓 半绝缘性,无掺杂 | 砷化镓 半导体性 p 型和 n 型 |
直径 | 晶片:从 2 英寸到 4 英寸 锭与合成物:从 2 英寸到 6 英寸 |
厚度 | 晶片:从 325 微米到 750 微米 锭与合成物:从 2 英寸到 6 英寸 |
掺杂物 | – | 锌、硅、碲 |
载子浓度 | – | n 型 1 x 1016 – 2 x 1018 cm-3 p 型 1 x 1016 – 5 x 1019 cm-3 |
晶体取向 | (100)、(110)、(111) |
晶向偏离 | 最高 15°,如有必要 >15° |
电阻率 | >1 x 107 Ωcm | >1 x 10-3 Ωcm |
霍尔迁移率 | >6000 cm2 V-1s-1 | n 型 1 x 1016 – 2 x 1018 cm-3 p 型低 1 x 1016 – 5 x 1019 cm-3 |
腐蚀坑密度 (EPD) | <1 x 104 cm-2 | 液封直拉法 (LEC): <7 x 104 cm-2 垂直梯度凝固 (VGF): <5 x 103 cm-2 |
表面处理 | 晶片:切割/研磨/蚀刻/单面和双面抛光 锭和合成物:研磨/生长/切割 |
平面取向 | US SEMI 或 EJ 标准 |
包装 | 标准/Empak/Fluoroware/Fluoroware N2 密封 |
此外,我们还以晶片和锭的形式提供直径从 0.5 英寸到 4.25 英寸的多晶砷化镓。我们的产 品采用高压制造,利用精确的化学计量控制高纯度原料。利用 GDMS 对每个锭进行分析,旨在确 定其纯度。
多晶砷化镓被用作进一步加工和应用的原料。
多晶砷化镓的规格 |
砷化镓半绝缘性,无掺杂 | 砷化镓半导体性 p 型和 n 型 |
直径 | 晶片:从 0.5 英寸到 4.25 英寸 锭与合成物:从 2 英寸到 6 英寸 |
厚度 | 晶片:从 0.5 毫米到 40 毫米 锭与合成物:从 50 毫米到 100 毫米 |
掺杂物 | – | 锌、硅、碲 |
载子浓度/td> | – | n 型 1 x 1016 – 2 x 1018 cm-3 p 型 1 x 1016 – 5 x 1019 cm-3 |
电阻率 | >1 x 107 Ωcm | >1 x 10-3 Ωcm |
霍尔迁移率 | >1 x 103 cm2 V-1s-1 | n 型 >1500 cm2 V-1 s-1 p 型低 |
腐蚀坑密度 (EPD) | <1 x 104 cm-2 | 液封直拉法 (LEC): <7 x 104 cm-2 垂直梯度凝固 (VGF): <5 x 103 cm-2 |
表面处理 | 晶片:切割/蚀刻 锭和合成物:研磨/生长/切割 |
平面取向 | US SEMI 或 EJ 标准 |
包装 | 标准/Fluoroware/Fluoroware N2 密封 |
我们提供各种类型的包装,适用于切割和抛光晶片:
半绝缘砷化镓
半导体砷化镓
应用领域: LED 产业、高科技产业、微机电系统 (MEMS)、太阳能产品、有源元件、集成电路、 电信配件等。
砷化镓晶片
适合 VGF 生长、直径达 6 英寸的砷化镓锭
应用领域: 多晶砷化镓用作制造砷化镓产品的原料(LED 工业、光纤通信、微波电路、太阳能电池应 用、高效光伏器件等)。
光电子砷化镓晶片
应用领域 无线通信、PHEMT 技术、光电器件(光电二极管、光电管、光敏电阻、集成光路、光耦合 器、激光二极管、红外发光二极管)、芯片、光纤通信、太阳能产品等。
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